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MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS
MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS
홍순관 서울市立大學校 大學院, 1993,
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