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고집적 DRAM용 (Pb,La)TiO3 박막의 특성에 관한 연구
고집적 DRAM용 (Pb,La)TiO3 박막의 특성에 관한 연구
상세정보
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008011120s1998 ulka AQ 000a KOR■001000007086518
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■1001 ▼a박정흠
■24510▼a고집적 DRAM용 (Pb,La)TiO3 박막의 특성에 관한 연구▼d박정흠 저
■260 ▼a서울▼b연세대학교▼c1998 .
■300 ▼avi,88p.▼b삽도▼c26cm .
■5021 ▼a학위논문(박사) -▼b연세대학교 대학원▼c전기공학과 ▼d1998
■504 ▼a참고문헌수록:p.83-86
■653 ▼a고집적 DRAM▼a유전체 박막 캐패시터▼a우선배향성 박막
■9500 ▼a비매품