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半導體用 高純度藥品.가스의 技術動向
半導體用 高純度藥品.가스의 技術動向 / 鄭惠順 ; 林莊秀 [공저]
半導體用 高純度藥品.가스의 技術動向

상세정보

자료유형  
 단행본
 
0002877062
KDC  
508
청구기호  
508 정94ㅂ
저자명  
정혜순
서명/저자  
半導體用 高純度藥品.가스의 技術動向 / 鄭惠順 ; 林莊秀 [공저]
발행사항  
서울 : 産業硏究院, 1986
형태사항  
94p. ; 26cm
총서명  
技術情報시리즈 ; 제6호(F)
키워드  
반도체용 고순도약품가스 기술동향 기술정보시리즈
기타저자  
임장수
가격  
가격불명
Control Number  
kpcl:73369

MARC

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