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MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS
MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS
상세정보
- Material Type
- 학위논문
- Callnumber
- 569 홍56ㅇ
- Author
- 홍순관
- Title/Author
- MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS / 洪淳寬
- Publish Info
- 서울 : 서울市立大學校 大學院, 1993.
- Material Info
- 93 p. ; 26 cm.
- 학위논문주기
- 학위논문(박사) - 서울市立大學校 大學院 : 電子工學科, 1993
- Index Term-Uncontrolled
- MEMS를 위한 SI 박막 구조 응력 연구 A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS
- Price Info
- 비매품
- Control Number
- kpcl:34254
MARC
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| AM000568 | TD 569 홍56ㅇ '93 | 참고자료실 | 대출불가 |
대출불가 마이폴더 |
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