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MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS
MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS
상세정보
- 자료유형
- 학위논문
- 청구기호
- 569 홍56ㅇ
- 저자명
- 홍순관
- 서명/저자
- MEMS를 위한 Si 薄膜材料의 構造的 應力에 관한 硏究 = A Study on the structural stress of thin-film Si materials for MEMS / 洪淳寬
- 발행사항
- 서울 : 서울市立大學校 大學院, 1993.
- 형태사항
- 93 p. ; 26 cm.
- 학위논문주기
- 학위논문(박사) - 서울市立大學校 大學院 : 電子工學科, 1993
- 가격
- 비매품
- Control Number
- kpcl:34254
MARC
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