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Effect of capping layers on activation of As/Be-implanted semi-insulating InP:Fe
Effect of capping layers on activation of As/Be-implanted semi-insulating InP:Fe / 李同洙
Effect of capping layers on activation of As/Be-implanted semi-insulating InP:Fe

상세정보

자료유형  
 학위논문
청구기호  
569 이25ㅇ
저자명  
이동수
서명/저자  
Effect of capping layers on activation of As/Be-implanted semi-insulating InP:Fe / 李同洙
발행사항  
서울 : 高麗大學校 大學院, 1999.
형태사항  
72 p. ; 26 cm.
학위논문주기  
학위논문(박사) - 高麗大學校 大學院 : 마이크로머시닝學科, 1999
키워드  
EFFECT OF CAPPING LAYERS ON ACTIVATION ASBEIMPLANTED SEMIINSULATING INPFE
가격  
비매품
Control Number  
kpcl:34195

MARC

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