자료유형  

 단행본

 

0013384705

ISBN  

9788963641874 93560 : \20000

KDC  

569-5

청구기호  

569 정78ㅍ

저자명  

정진욱

서명/저자  

플라즈마 전자공학 / 정진욱 지음.

발행사항  

파주 : 청문각, 2013.

형태사항  

306 p. : 삽화 ; 26 cm.

주기사항  

2014년도 대한민국학술원 선정 우수학술도서

주기사항  

이 도서는 대한민국학술원에서 선정한 2014년도 우수학술도서임.

서지주기  

참고문헌(p. 302)과 색인(p. 303-306)수록

키워드  

공정플라즈마 반도체디스플레이

가격  

\20000

Control Number  

kpcl:205324

책소개  

『플라즈마 전자공학』은 플라즈마 기초 개념과 공정장비에 필요한 RF 기본 지식을 제공하는 책이다. 각 장 뒤에 질의/응답을 수록하여, 독자의 이해를 돕는다.