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급속 열처리법에 의한 재산화 질화산화막의 전기적 특성에 관한 연구 = A Study on the Electrical Properties of Reoxidized Nitrided Oxides Prepared by Rapid Thermal Processing
급속 열처리법에 의한 재산화 질화산화막의 전기적 특성에 관한 연구 = A Study on the Electrical Properties of Reoxidized Nitrided Oxides Prepared by Rapid Thermal Processing
상세정보
- 자료유형
- 학위논문
- KDC
- 569
- 청구기호
- 569 김817ㄱ
- 저자명
- 김중연
- 서명/저자
- 급속 열처리법에 의한 재산화 질화산화막의 전기적 특성에 관한 연구 = A Study on the Electrical Properties of Reoxidized Nitrided Oxides Prepared by Rapid Thermal Processing / 金仲淵
- 발행사항
- 서울 : 建國大學校, 1994
- 형태사항
- 51p. ; 26 cm
- 학위논문주기
- 학위논문(석사) - 建國大學校 大學院 : 電子工學科, 1994
- 키워드
- 급속 열처리법 재산화 질화산화막 전기 STUDY ELECTRICAL PROPERTIES REOXIDIZED NITRIDED OXIDES PREPARED RAPID THERMAL PROCESSING
- 가격
- \
- Control Number
- kpcl:13700
MARC
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